生產集成電路芯片需要高度專業化的設備，可在多重苛刻環境下工作，如：????????

●?真空環境下的等離子；

●?高溫；

●?與高度研磨液接觸；

●?暴露于多種高腐蝕性化學品。



優勢


●?準確復制全球任何地區可用的材料

●?廣泛的材料選擇、工程支持和測試能力

●?機加工能力，支持仿真系統NPI應用發展

●?材料組合最為廣泛，專設計用于濕制程工具

●?CMP環材料的全球一流制造商，包括Techtron? PPS（全球標準CMP應用）

●?用于刻蝕、CVD和離子植入等干式制程工具的材料，可降低成本和提高性能


產品與應用

半導體電子


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